WVCP6000 ජල වාෂ්ප Cryopump Cryogenic ශීතකරණ පද්ධති
නිෂ්පාදනය විස්තරය
2011 දී පිහිටුවන ලද Guangzhou Xieyi Automation Technology Co., Ltd., ඉතා අඩු උෂ්ණත්ව ජල වාෂ්ප ග්‍රහණය කරන පොම්ප සහ වෙනත් පර්යේෂණ සංවර්ධනය, නිෂ්පාදනය, තාක්ෂණික උපදේශන සහ සේවාවල නිරත වන දකුණු චීනයේ සුවිශේෂී අධි-තාක්ෂණික ව්‍යවසාය වේ. අතිශය අඩු උෂ්ණත්ව උපකරණ.
XIEYI WVCP Cryochillers යනු වොට් 550 ~ 6,000 සිසිලනය සපයන සංවෘත ලූප් ක්‍රයොජනික් ශීතකරණ පද්ධති වේ.මෙම cryochillers Meissner coil (cryocoil) වැනි සීතල මතුපිටක් මත කැටි කිරීමෙන් ජල වාෂ්ප සහ අනෙකුත් ඝනීභවනය කළ හැකි ද්රව්ය අල්ලා ගැනීමට භාවිතා කළ හැකිය.අර්ධ සන්නායක වේෆර් සැකසීමේදී භාවිතා කරන විද්‍යුත් ස්ථිතික චක් වැනි වස්තූන් සිසිල් කිරීම සඳහා WVCP ක්‍රයෝචිලර් ද භාවිතා වේ.
තාක්ෂණික පරාමිතිය
| ආකෘතිය | WVCP6000-SH | WVCP6000-DH |
| උපරිම සිසිලන ධාරිතාව (W) | 6000 | 6000 |
| න්‍යාය නල සීතල උගුලේ (L/S) උපරිම පොම්ප කිරීමේ වේගය | 588000 | 588000 |
| න්‍යාය තහඩු සීතල උගුලේ උපරිම වේගය (L/S) | 882000 | 882000 |
| අවසාන රික්තය(mbar) | 2*10-8 | 2*10-8 |
| උපරිම ශීත උගුල් ප්‍රදේශයේ හිම ඉවත් කිරීමේ කාලය (මිනි) | <5 | <5 |
| සීරුමාරු උෂ්ණත්වයේ වෙනස් කළ හැකි පරාසය (℃) | -20~30 | -20~30 |
| පීඩන පාලන මාදිලිය | ඩිජිටල් සංවේදකය + යාන්ත්රික ස්විචය | ඩිජිටල් සංවේදකය + යාන්ත්රික ස්විචය |
| ඉක්මන් ප්‍රතිසාධන ශේෂ පීඩන ක්‍රියාකාරිත්වය (QRBP) | ඔව් | ඔව් |
| තෙල් අවහිර කිරීමේ සාක්ෂි කාර්යය (OBP) | ඔව් | ඔව් |
| 4G දුරස්ථ පාලකය | ඔව් | ඔව් |
| සීතල මාධ්ය ගුණාංග | පරිසර හිතකාමී | පරිසර හිතකාමී |
| නල සීතල උගුලේ උපරිම පෘෂ්ඨ වර්ගඵලය (㎡) | 4 | 4 |
| තහඩු සීතල උගුලේ උපරිම පෘෂ්ඨය (㎡) | 6 | 6 |
| තනි සීතල උගුලක පිරිවිතර (㎡) | φ16mm*80m | / |
| ද්විත්ව සීතල උගුලේ පිරිවිතර (㎡) | / | 2*φ16mm*40m |
| ගෑස් අතුරුමුහුණත | 12.7 තඹ වෑල්ඩින් හන්දිය (සම්මත) | 12.7 තඹ වෑල්ඩින් හන්දිය (සම්මත) |
| ParkerCPI/VCR(විකල්ප) | ParkerCPI/VCR(විකල්ප) | |
| සිසිලන ජල ප්‍රවාහය (L/min at 24℃) | 48 | 48 |
| සිසිලන ජල අනතුරු ඇඟවීමේ උෂ්ණත්වය (℃) | 38 | 38 |
| සිසිලන කුළුණ | ඔව් | ඔව් |
| සිසිලන ජල සම්බන්ධකය (L/S) | G1" | G1" |
| උපරිම බර බලය (kW) | 25.3 | 25.3 |
| සම්පීඩක නාමික බලය (HP) | 20 | 20 |
| බල සැපයුම (50HZ) | 380-400V AC 3P(H) | 380-400V AC 3P(H) |
| 200-230V AC 3P(L) | 200-230V AC 3P(L) | |
| මානය (MM) | 935(L)*873(D)*1809(H) | 1235(L)*873(D)*1809(H) |
| බර (KG) | 655 | 655 |
ඔබගේ පණිවිඩය මෙහි ලියා අප වෙත එවන්න
